Точные методы анализа (Оже-спектроскопия)

Определение элементного состава приповерхностных (~1 нм) атомных слоёв металлических, полупроводниковых образцов и эволюции элементного состава с изменением температуры образцов.

Определение в образцах заказчика химического состава и концентраций элементов в поверхностных слоях методом электронной Оже-спектроскопии при минимальном воздействии на образцы (электронный пучок при токе ~1 мкА с энергией 3 кВ)